|
龍圖騰網恭喜西安電子科技大學申請的專利SiC襯底同質網狀生長Web Growth外延方法成功實施成果轉化。 龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2014-01-01發布的專利公告中獲悉：該專利的專利申請號/專利號為：2013104049154，技術領域屬于H01L21/20(2006.01)I；該專利SiC襯底同質網狀生長Web Growth外延方法是由西安電子科技大學設計研發完成，并于2013-09-06向國家知識產權局提交的專利申請。 本發明涉及一種SiC襯底同質Web?Growth外延方法，方法包括：選取正軸4H或6H的原始SiC襯底；將原始SiC襯底進行顯影處理和干刻蝕工藝處理，處理為加工SiC襯底；利用外延爐對加工SiC襯底進行原位刻蝕；對加工SiC襯底進行同質外延處理；加工SiC襯底在刻蝕圖形內角處進行懸臂生長生成SiC外延片，生長出的懸臂為無缺陷的碳硅雙原子層結構；生長出的懸臂愈合形成一層碳硅雙原子層薄膜覆蓋刻蝕臺面區域；從外延爐中取出生長好的SiC外延片。本發明SiC襯底同質Web?Growth外延方法實現了在正軸碳化硅襯底最頂端的刻蝕臺面上外延薄的一層完全無缺陷的懸臂，并且有效縮短外延時間并提高薄膜生長面積。 龍圖騰網（www.lavidaesasin.com）是知識產權全產業鏈服務平臺，平臺圍繞知識產權代理、知識產權管理、商標查詢、商標轉讓交易、專利檢索、專利轉讓運營、科技成果轉化等，通過“互聯網+知識產權”的方式，整合資源與服務，為廣大知識產權代理機構、科技咨詢公司、律師事務所以及各類科技創新企業、科研院所、大專院校等，提供龍圖騰商標專利檢索分析平臺、龍圖騰知識產權管家、龍圖騰知識產權交易平臺等人工智能大數據云產品服務、知識產權服務、科技成果轉移轉化服務等。 如需購買、轉讓、實施、許可或投資上述專利技術或類似專利技術聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話18133652667或微信搜索“龍圖騰網”。 |
為企業、高校、服務機構提供科技成果托管、轉化等平臺服務
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號